KONICメンテナンスマニュアル

作成 1999.10.15 伊藤 信成

最終更新日 1999.10.15

1.デュワーの開け方

2.冷凍機の取り付け・取り外し

3.フィルター交換

4.デュワーの閉め方


  1. デュワーの開け方
  2. 多数の部品があるため、外し方の順番を間違えると手間がぐっと増えて しまいますので、デュワーの標準的な開け方を示します。

    デュワー内の部品を触る時は、手の脂をアルコールで脱脂するか、 ゴム手袋を必ずすること。


  3. 冷凍機の取り付け・取り外し
    1. 取り外し
      • まずは上の状態までデュワーを開く。
      • 冷凍機ヘッドの第2段(先頭)に付いている銅製部品をはずす
      • 冷凍機ヘッドの第1段に付いているネジ(7本)をはずす
        注:非常にはずしにくいので焦らないこと。近くにある配線を傷つけないよう慎重に。
      • デュワー枠に付いているフランジ部をはずす
        冷凍機は意外に思いので注意。
      • 冷凍機を引き抜く。
        (Radiation Shieldの部分で引っかかるので、ゆっくり行なうこと)

    2. 取り付け
      • 冷凍機のフランジ面およびデュワー枠の接触面の汚れを落とす。
      • Oリングをアルコール洗浄し、真空グリスを塗る。
      • 冷凍機をデュワー枠に差し込む。
      • 冷凍機ヘッド第1段部をネジ2〜3本で軽くネジ止めする。
      • デュワー枠に冷凍機フランジをネジ止めする
        ネジは必ず対角線方向に締めていき、一度に締めないように。
      • 冷凍機第1段部をネジ止めする(7本)。
        振動する部分なので、スプリングワッシャを噛ませるのを 忘れないように。
      • 冷凍機第2段部をネジ止めする
        ネジは3本程度で良いが、スプリングワッシャを噛ませること。


  4. フィルター交換
    1. 回転導入軸のカップリングははずさなくて良い。
    2. Radiation Shieldのフタの裏側のネジをはずす
    3. ゼロ点検出用の信号ケーブル(青色)をはずす
    4. フタを開ける(非常にかたいので焦らずに!)。
    5. フィルター固定用リングの穴にピンセット等を入れ、固定リングをはずす。
      フィルターを傷つけないように細心の注意を払うこと!
    6. フィルターを取り出す。
      • フィルターは絶対に手で触らないこと!!
      • 取り出したら放置せず、その場でしまうこと!!
    7. デシケータから、新しいフィルターを取り出す。
    8. フィルターに汚れ・キズが無いことを確認する。
    9. フィルターホイールに入れる。その際スペーサー(黒紙or金属リング)を適宜噛ませる。
    10. 固定用リングをはめる。
      • フィルターにキズが付かないよう、フィルターと固定用リングの間には、 必ずスペーサーを挟むこと。
      • フィルターを傷つけないように細心の注意を払うこと
    11. エア・ダスターでホコリを払う。
    12. フタを閉める。
      • 回転導入軸がベアリングに正しく入るようにすること。
      • マイクロ・スイッチが正しく動作するように注意すること。
    13. ゼロ点検出用の信号ケーブル(青色)をつなぐ
    14. kisokomaの~/konic/M+.bin/filter.tab を修正する。
      書き方はファイルを見ればすぐわかる。
      古いファイルは消さずに、"filter.tab.991015"のようにして残しておく。


  5. デュワーの閉め方
    1. ケーブルを挟まないように注意しながら、Radiation Shieldのフタを閉める。
      • きっちり作ってあるので、ずれると入らないので注意。
      • フタが完全に閉まるよう、しっかり押し込むこと。
      • ネジ穴がずれているかどうかで、正しく入ったか確認できる。
    2. ヒーターの配線(赤ケーブル)を接続する
    3. Oリングをアルコール洗浄し、真空グリスを塗る
    4. エア・ダスターでほこりを飛ばす
    5. デュワーのフタを乗せる。回転導入軸部に注意!!
      ネジは軽く止める程度にしておく。
    6. 回転導入軸台座部のOリングの洗浄とグリス塗り。
      回転部で真空が破れやすいので、真空グリスは多めに塗る。
    7. 回転導入軸台座部のネジ止め。対角方向に止めて行く。
    8. ステッピング・モーターを取り付ける。
      カップリングのネジ2本+取り付け台ネジ4本 でしっかり固定
    9. 取手を取り付ける。
    10. 真空引きである程度真空度が下がった時点(〜10^{-3}Torr)で、 デュワー上ブタを完全にネジ止め。


不明な点等がありましたら伊藤までお知らせ下さい。