KONICメンテナンスマニュアル
作成 1999.10.15 伊藤 信成
最終更新日 1999.10.15
1.デュワーの開け方
2.冷凍機の取り付け・取り外し
3.フィルター交換
4.デュワーの閉め方
- デュワーの開け方
多数の部品があるため、外し方の順番を間違えると手間がぐっと増えて
しまいますので、デュワーの標準的な開け方を示します。
デュワー内の部品を触る時は、手の脂をアルコールで脱脂するか、
ゴム手袋を必ずすること。
- 冷凍機の取り付け・取り外し
- 取り外し
- まずは上の状態までデュワーを開く。
- 冷凍機ヘッドの第2段(先頭)に付いている銅製部品をはずす。
- 冷凍機ヘッドの第1段に付いているネジ(7本)をはずす。
注:非常にはずしにくいので焦らないこと。近くにある配線を傷つけないよう慎重に。
- デュワー枠に付いているフランジ部をはずす。
冷凍機は意外に思いので注意。
- 冷凍機を引き抜く。
(Radiation Shieldの部分で引っかかるので、ゆっくり行なうこと)
- 取り付け
- 冷凍機のフランジ面およびデュワー枠の接触面の汚れを落とす。
- Oリングをアルコール洗浄し、真空グリスを塗る。
- 冷凍機をデュワー枠に差し込む。
- 冷凍機ヘッド第1段部をネジ2〜3本で軽くネジ止めする。
- デュワー枠に冷凍機フランジをネジ止めする。
ネジは必ず対角線方向に締めていき、一度に締めないように。
- 冷凍機第1段部をネジ止めする(7本)。
振動する部分なので、スプリングワッシャを噛ませるのを
忘れないように。
- 冷凍機第2段部をネジ止めする。
ネジは3本程度で良いが、スプリングワッシャを噛ませること。
- フィルター交換
- 回転導入軸のカップリングははずさなくて良い。
- Radiation Shieldのフタの裏側のネジをはずす。
- ゼロ点検出用の信号ケーブル(青色)をはずす。
- フタを開ける(非常にかたいので焦らずに!)。
- フィルター固定用リングの穴にピンセット等を入れ、固定リングをはずす。
- フィルターを取り出す。
- フィルターは絶対に手で触らないこと!!
- 取り出したら放置せず、その場でしまうこと!!
- デシケータから、新しいフィルターを取り出す。
- フィルターに汚れ・キズが無いことを確認する。
- フィルターホイールに入れる。その際スペーサー(黒紙or金属リング)を適宜噛ませる。
- 固定用リングをはめる。
- フィルターにキズが付かないよう、フィルターと固定用リングの間には、
必ずスペーサーを挟むこと。
- フィルターを傷つけないように細心の注意を払うこと
- エア・ダスターでホコリを払う。
- フタを閉める。
- 回転導入軸がベアリングに正しく入るようにすること。
- マイクロ・スイッチが正しく動作するように注意すること。
- ゼロ点検出用の信号ケーブル(青色)をつなぐ。
- kisokomaの~/konic/M+.bin/filter.tab を修正する。
書き方はファイルを見ればすぐわかる。
古いファイルは消さずに、"filter.tab.991015"のようにして残しておく。
- デュワーの閉め方
- ケーブルを挟まないように注意しながら、Radiation Shieldのフタを閉める。
- きっちり作ってあるので、ずれると入らないので注意。
- フタが完全に閉まるよう、しっかり押し込むこと。
- ネジ穴がずれているかどうかで、正しく入ったか確認できる。
- ヒーターの配線(赤ケーブル)を接続する。
- Oリングをアルコール洗浄し、真空グリスを塗る。
- エア・ダスターでほこりを飛ばす。
- デュワーのフタを乗せる。回転導入軸部に注意!!
ネジは軽く止める程度にしておく。
- 回転導入軸台座部のOリングの洗浄とグリス塗り。
回転部で真空が破れやすいので、真空グリスは多めに塗る。
- 回転導入軸台座部のネジ止め。対角方向に止めて行く。
- ステッピング・モーターを取り付ける。
カップリングのネジ2本+取り付け台ネジ4本 でしっかり固定
- 取手を取り付ける。
- 真空引きである程度真空度が下がった時点(〜10^{-3}Torr)で、
デュワー上ブタを完全にネジ止め。
不明な点等がありましたら伊藤までお知らせ下さい。